Anlæggets system skal give en stabil forsyning af rene kemikalier, ultrarent vand og rene procesgasser i hele FAB.Dette stiller høje krav til stabiliteten og konsistensen af det filterelement, der anvendes i hver sektion.Hangzhou lidt stort flow filterelement, sikkerhedsfilterelement, højpræcision foldefilterelementer og perfluorerede filterelementserier giver stabil filtreringsservice til fabriksstyringssystem
