I CMP-processen skal produkter med stort partikelstørrelsesområde filtreres, effektive partikler skal tilbageholdes til slibning, og store partikler, der kan ridse overfladen, skal fjernes.I lyset af den strenge partikelopfangningsydeevne af fiterkernen, bør der frigives så mange effektive partikler som muligt for effektivt at opfange store partikler.
