V procesu CMP by měly být produkty s velkým rozsahem velikosti částic filtrovány, účinné částice by měly být zadrženy pro mletí a velké částice, které by mohly zachytit povrch, by měly být odstraněny.Vzhledem k přísnému zachycování částic fiter jádra by mělo být uvolněno co nejvíce účinných částic, aby bylo možné efektivně zachytit částice velké velikosti.
