In u prucessu CMP, i prudutti cù una gamma di grandezza di particella larga deve esse filtrati, particeddi efiective deve esse ritenuti per a macinazione è particelle di grandezza grande chì ponu scatchthe superficia deve esse eliminata.In vista di u strettu rendimentu di intercettazione di particelle di u core di u filter, quante particelle eflettanti duveranu esse liberate quant'è pussibule per interceptà e particelle di grande dimensione.
