Sa proseso sa CMP, ang mga produkto nga adunay dako nga gidak-on sa gidak-on sa partikulo kinahanglan nga salain, ang epektibo nga mga partikulo kinahanglan nga huptan alang sa paggaling ug ang mga partikulo nga kadako nga gidak-on nga mahimo’g makuha ang nawong kinahanglan nga tangtangon.Sa pagtan-aw sa estrikto nga partikulo interception performance sa fiter core, ingon nga daghang eflective particles kinahanglan nga buhian ingon nga posible sa elicyensya intercept dako-gidak-on nga mga partikulo.
