En el procés CMP, els productes amb un gran rang de mida de partícules s'han de filtrar, les partícules efectives s'han de retenir per a la mòlta i s'han d'eliminar les partícules de mida gran que poden escampar la superfície.Tenint en compte l'estricte rendiment d'intercepció de partícules del nucli del filter, s'haurien d'alliberar tantes partícules reflectores com sigui possible per poder interceptar partícules de gran mida.
