Sistem postrojenja treba da obezbedi stabilno snabdevanje čistim hemikalijama, ultra čistom vodom i čistim procesnim gasovima u celom FAB-u.Ovo postavlja visoke zahtjeve za stabilnost i konzistentnost filterskog elementa koji se koristi u svakoj sekciji.Hangzhou filterski element s velikim protokom, sigurnosni filterski element, visoko precizni sklopivi filter elementl i serija perfluoriranih filterskih elemenata pružaju stabilnu uslugu filtracije za sistem upravljanja tvornicom
