প্ল্যান্ট সিস্টেমকে সম্পূর্ণ FAB জুড়ে পরিষ্কার রাসায়নিক, অতি বিশুদ্ধ জল এবং পরিষ্কার প্রক্রিয়া গ্যাসের স্থিতিশীল সরবরাহ করতে হবে।এটি প্রতিটি বিভাগে ব্যবহৃত ফিল্টার উপাদানের স্থায়িত্ব এবং ধারাবাহিকতার জন্য উচ্চ প্রয়োজনীয়তাগুলিকে সামনে রাখে।Hangzhou কাইন্ডা বড় প্রবাহ ফিল্টার উপাদান, নিরাপত্তা ফিল্টার উপাদান, উচ্চ নির্ভুলতা ভাঁজ ফিল্টারলিমেনল এবং পারফ্লুরিনযুক্ত ফিল্টার উপাদান সিরিজ কারখানা ব্যবস্থাপনা সিস্টেমের জন্য স্থিতিশীল পরিস্রাবণ পরিষেবা প্রদান করে