Инсталационната система трябва да осигури стабилно снабдяване с чисти химикали, свръхчиста вода и чисти технологични газове в целия FAB.Това поставя високи изисквания за стабилност и последователност на филтърния елемент, използван във всяка секция.Hangzhou вид филтърен елемент с голям поток, защитен филтърен елемент, високопрецизни сгъваеми филтърни елементи и серия от перфлуорирани филтърни елементи осигуряват стабилна услуга за филтриране за система за управление на фабриката
