В CMP процеса продуктите с голям диапазон на размера на частиците трябва да бъдат филтрирани, ефективните частици трябва да бъдат задържани за смилане, а частиците с големи размери, които могат да надраскат повърхността, трябва да бъдат отстранени.С оглед на стриктното прихващане на частици на сърцевината на филтъра, колкото е възможно повече ефективни частици трябва да бъдат освободени за ефикасно прихващане на големи частици.
