У працэсе CMP прадукты з вялікім дыяпазонам памераў часціц павінны быць адфільтраваны, эфектыўныя часціцы павінны быць захаваны для драбнення, а часціцы вялікага памеру, якія могуць пашкодзіць паверхню, павінны быць выдалены.Улічваючы строгія характарыстыкі ядра фільтра па перахопе часціц, для эфектыўнага перахопу часціц вялікага памеру павінна быць выпушчана як мага больш эфектыўных часціц.
