CMP prosesində böyük hissəcik ölçüsü diapazonuna malik məhsullar süzülməli, təsirli hissəciklər üyüdülmə üçün saxlanmalı və səthi cızacaq böyük ölçülü hissəciklər təmizlənməlidir.Daha uyğun nüvənin ciddi hissəcikləri tutma qabiliyyətini nəzərə alaraq, böyük ölçülü hissəcikləri tutmaq üçün mümkün qədər çox effektli hissəciklər buraxılmalıdır.
